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強誘電体セラミックスターゲット材料の精密加工

安打: https://www.kagoshima-it.go.jp/pdf/kenkyu_happyo/happyo_1999_33.pdf

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2012-11-28 · 加工方法の種類としては切削・研削・ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞで検討した。要求される面粗度・クリーン度を考慮し評価した結果精密平面研削盤による研削方法を選定 ...